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06
2024
-
08
喜讯 | 恭贺bbin宝盈集团半导体有限公司荣获“佛山市工程技术研究中...
近期,佛山市科学技术局公布了2024年佛山市工程技术研究中心名单。历经多轮的严苛评审,bbin宝盈集团半导体有限公司申报的“佛山市半导体激光蚀刻设备工程技术研究中心”顺利通...
14
2026
-
09
白光干涉仪技术难点:高精度易达成大视场高分辨率难以兼顾
白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)借助短相干干涉原理,在小视场条件下实现亚纳米级垂直测量精度已较为成熟,可稳定输出 Ra...
14
2026
-
09
芯片全制程 表面形貌 (Surface Morpholog...
半导体芯片制造包含数百道精密工序,晶圆表面形貌(Surface Morphology)与粗糙度的细微偏差,会逐级传导至光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心制程,引发图形畸变...
11
2026
-
09
白光干涉仪精度趋于同质化大视场 表征能力成为关键突破点
随着光学干涉元器件与算法迭代,市面主流白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)在小视场条件下的垂直测量精度已趋于同质化,均可实...
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